Support - ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ
¾È³çÇϼ¼¿ä.
ÀúÈñ°¡ in SEM nanoindenter¸¦ º¸À¯Áß¿¡ Àִµ¥ Àü¿ë SEMÀ» ±¸¸ÅÇÒ °èȹÀÌ ÀÖ¾î¼ ¿¬¶ôµå·È½À´Ï´Ù.
1. FE SEMÀ̸ç cold ŸÀÔ ¿ì¼±, ¾ÈµÉ °æ¿ì schottky 2. ¸ÞÀÎ chamber¸¦ ºü¸¥ ½Ã°£³»·Î ´Ý¾Ò´Ù ¿¾ú´Ù ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÇüÅ (¿¡¾î¶ô ÇÊ¿ä ¾øÀ½) 3. º¸À¯ nanoindenter´Â SEM³» µé¾î°¡´Â unitÀÇ »çÀÌÁîrk °¡·Î 10.8 cm ¼¼·Î 4.7 cm ³ôÀÌ 4 cm ·Î SEM stage»ó¿¡ Á÷Á¢ ºÎÂø½Ã۰íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù. À̺κÐÀº ÇâÈÄ ÁøÇàµÈ´Ù¸é nanoindenter Á¦ÀÛ»ç¿Í ÇùÀÇÇÏ¿© ÁøÇàÇØ¾ßµÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌ¸ç ¿ì¼±Àº ÀúÁ¤µµ »çÀÌÁîÀÇ unitÀÌ SEM stage»ó¿¡ ¿Ã¶ó°¥¼ö ÀÖ´Â ¸ðµ¨·Î °ËÅäÇØÁÖ¼¼¿ä.
»ó±â Á¶°ÇÀ» ¸¸Á·ÇÏ´Â SEMÁß ´Ù¸¥ ±â´ÉÀº ÇÊ¿ä¾øÀÌ in situ·Î image¸¸ Àß º¼¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀ¸·Î ÇØ¼ °¡Àå Àú·ÅÇÑ ¸ðµ¨·Î °ßÀû¼ ºÎʵ右´Ï´Ù.
±×·³ °ËÅäÇØº¸½Ã°í ¿¬¶ôÁÖ¼¼¿ä.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù. |
||||||||
|
||||||||
[ ÀÌÀü±Û ] SEM Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ¹®ÀÇ [ ÇöÀç±Û ] SEM °ßÀû ¿äû [ ÀÌÀü±Û ] Normal SEM °ßÀû ¿äû |